CoolEpic系列設備是我公司在今年3季度面向市場推出的全新產品,該系列產品主要面向半導體行業推出。
CoolEpic主要特點是超低的制冷溫度,超快的制冷速度和超高的制冷效率。其制冷溫度最低可達零下155度。在如此低的制冷溫度下,制冷盤管不僅僅可以吸附水汽,同時可以吸附二氧化碳,氨氣和氯氣,可以大大提升真空室內潔凈度。同時極限真空可以達到-8至-9托。在標準負載下,制冷15分鐘就可以達到零下150度,大大縮短抽真空所需時間。
目前設備已經開始量產,有需要的客戶歡迎咨詢。
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